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窒素リフローシステム NRY-103V6W／LU

(株)大和製作所

最終更新日:2018/08/17

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  • 窒素リフローシステム NRY-103V6W／LU
200／300mmウエハに対応
【NRY-103V6W／LU】は、200／300mmウエハに対応するソルダーバンプ形成用窒素リフローシステム。ボール搭載後または印刷バンプ後のリフローに対応。メッキバンププロセス後のウェットバック装置としても対応可能。加熱方式はホットプレートと上部赤外線ヒータを併用。ホットプレートはウエハの反りに適応したピン立て加熱。
    　　　　　　　　

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