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セミオートウエット処理装置 TWPsaシリーズ

(株)高田工業所

最終更新日:2017/01/18

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  • セミオートウエット処理装置 TWPsaシリーズ
研究・開発用途に最適な機能とサイズで低価格を実現
【TWPsaシリーズ】は、ウェハ、基板をチャンバーにセットするだけで、有機溶剤での剥離(洗浄)、リンス、乾燥までの一連動作を完了する枚葉式のセミオートウエット処理装置。チャンバー構造は同社の「TWPシリーズ」を踏襲。オプションの超音波ノズル、高圧ジェットノズルなどによる薬液物理アシストで、硬化レジスト除去、リフトオフ処理も対応可能。使用薬液を削減するため、循環回収・濾過・温調システムを採用している。1レシピ：10STEP×レシピ数：10PCPを保持(オプションにより増加可能)。
    　　　　　　　　

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社名：
(株)高田工業所
住所：
〒 806-8567
北九州市八幡西区築地町2-1
Web：
http://www.takada.co.jp