研究・開発用途に最適な機能とサイズで低価格を実現
【TWPsaシリーズ】は、ウェハ、基板をチャンバーにセットするだけで、有機溶剤での剥離(洗浄)、リンス、乾燥までの一連動作を完了する枚葉式のセミオートウエット処理装置。チャンバー構造は同社の「TWPシリーズ」を踏襲。オプションの超音波ノズル、高圧ジェットノズルなどによる薬液物理アシストで、硬化レジスト除去、リフトオフ処理も対応可能。使用薬液を削減するため、循環回収・濾過・温調システムを採用している。1レシピ：10STEP×レシピ数：10PCPを保持(オプションにより増加可能)。
