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セラミック基板自動外観検査装置 FV100C

株式会社安永

最終更新日:2017/07/07

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  • セラミック基板自動外観検査装置 FV100C
膨れやへこみなどの立体的な欠陥も検出
【FV100C】は、パワーモジュールやサーモモジュール用途などのセラミック基板に発生するクラックや汚れ、オーバーエッチング、パターンショートといった欠陥検査に最適な外観検査装置。マルチアングルLED照明と複数枚画像撮像による2D欠陥検査で異物付着、汚れ／変色、欠け、傷、ダレを確実にとらえるほか、高精度3D欠陥検査によって膨れやへこみなどの立体的な欠陥も検出する。対象デバイスサイズ：140×200mm程度、検査視野：□23mm、分解能：4.5μm／pix(検査視野□23mm、25Mpixカメラ使用の場合)。
    　　　　　　　　

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