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自動カセット・BOX洗浄システム CRD-4500

ヒューグルエレクトロニクス(株)

最終更新日:2014/02/01

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  • 自動カセット・BOX洗浄システム CRD-4500
SEMI S2／S8、CE規格準拠により安全性を向上
【CRD-4500】は、純水ジェット洗浄および温風乾燥方式を採用し、洗浄・乾燥・除電を全自動で行う洗浄システム。従来機「CRD-4200」の長所の向上を図り、電力・純水使用量の省エネ化、小フットプリント化、さらにスピード乾燥を実現。操作は高輝度タッチパネルにて容易に行え、装置ローダー／アンローダー部にはラインとカーテンを設置し、安全対策も考慮。また、装置内部へのアクセスを容易にし、メンテナンス性も向上している。外寸：W2724×H1680×D1190mmの省スペース設計ながら、最大8インチウェハー用容器まで対応可能。
    　　　　　　　　

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社名：
ヒューグルエレクトロニクス(株)
住所：
〒 102-0072
千代田区飯田橋4-5-7
Web：
http://www.hugle.co.jp