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〒 520-2277
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http://lintec-mfc.co.jp/
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EtherCATマスフローコントローラ MC-5000Cシリーズ

株式会社リンテック

最終更新日:2022/07/06

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  • EtherCATマスフローコントローラ MC-5000Cシリーズ
メタルシールと、独自の周囲温度補償式流量センサを標準搭
【MC-5000Cシリーズ】は、SEMIに準拠したEtherCAT専用の高精度マスフローコントローラ。流量精度は±1.0%S.P.を保証。メタルシールを採用することで、腐食性のあるガスにも対応可能。各種オプションで、あらゆる条件に対応。

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