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高真空コーティング装置 ライカ EM ACE600

ライカマイクロシステムズ(株)

最終更新日:2014/09/16

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  • 高真空コーティング装置 ライカ EM ACE600
高分解能なTEM観察、FE-SEMでの解析に
【ライカ EM ACE600】は、FE-SEMとTEMのアプリケーション向けに、各種金属やカーボンを非常に薄く均質で粒状性の良いコーティング層を成膜することができる高性能・多機能な高真空コーティング装置。スパッタリング、カーボンスレッド蒸着、カーボンロッド蒸着、E-ビーム蒸着、Glowディスチャージによる親水化処理などの構成が可能。また、ライカ EM VCT100 真空クライオ・トランスファーシステムとの接続に対応している。ソリューション型のシステムのため、各種の装置とリンクすることができ、クライオSEMをはじめとする真空系、また大気非暴露の解析装置用に、コンタミ・フリーの理想的な前処理ソリューションを実現可能。
    　　　　　　　　
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高真空コーティング装置 ライカ EM ACE600
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ファイル形式：pdf ファイルサイズ：2.82MB【ライカ EM ACE600】は、FE-SEMとTEMのアプリケーション向けに、各種金属やカーボンを非常に薄く均質で粒状性の良いコーティング層を成膜することができる高性能・多機能な高真空コーティング装置。スパッタリング、カーボンスレッド蒸着、カーボンロッド蒸着、E-ビーム蒸着、Glowディスチャージによる親水化処理などの構成が可能。また、ライカ EM VCT100 真空クライオ・トランスファーシステムとの接続に対応している。ソリューション型のシステムのため、各種の装置とリンクすることができ、クライオSEMをはじめとする真空系、また大気非暴露の解析装置用に、コンタミ・フリーの理想的な前処理ソリューションを実現可能。

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