技術資料 CW固体ステーションで干渉リソグラフィを改良

製品カタログ・資料

ファイル形式：pdf ファイルサイズ：1.89MB本資料は、シュトゥットガルト大学における事例を紹介する技術資料。ArやKrのガスレーザのサイズ、複雑さ、熱を伴わないコヒーレンス長、光線の質、短い放射波長という基準を満たす光源となるCW固体レーザソリューションを採用。コンパクトなプラグアンドプレイデバイスで、メンテナンスフリーにて動作し、ヒートシンク以外の冷却装置を必要としない。1に近いMをもつこのレーザの高品質な光線は、狭いスペクトルバンド幅と長期的な出力安定性とが結びつくことで、LILに精度と再現性を確保。このレーザは、360nmの放射波長で25nmまでの周期を実現できる。

会社情報

Coherent Corp.は、産業、通信、エレクトロニクス、装置組込み市場向けの材料、ネットワーク、レーザのグローバルリーダーです。本社はペンシルベニア州サクソンバーグにあります。1971年、産業用レーザの高品質な材料と光学部品を製造するために設立されました。現在では、世界20か国以上で事業を展開しています。

Coherentは、「より安全で、より健康的で、より身近で、より効率的な世界を実現する」というミッションを追求しながら、市場のメガトレンドに対応するイノベーションの実現に注力しています。材料からシステムに至るまで、画期的なテクノロジーを通じて市場のイノベーターに未来を定義する力を与える会社です。

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コヒレント・ジャパン株式会社
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電話 : 03-5365-7100

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