蛍光X線式測定器の自動化システム XDV-µ SEMI
最終更新日:2022/07/13
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- 蛍光X線式測定器の自動化システム XDV-µ SEMI
ファイル形式:pdf ファイルサイズ:1.49MB【XDV -µ SEMI】は、微小構造のウェハー測定に特別設計された完全自動化の蛍光X線測定システム。FOUPやSEMI規格のウェハー格納用ポッドのロードポートが利用可能なため、ウェハーの出し入れや測定が完全自動で実行できる。
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会社情報
Helmut Fischerは70年にわたり、膜厚測定、素材分析、微小硬さ試験、材料試験の分野において革新的な測定技術を開発してきました。
(株)フィッシャー・インストルメンツ
製品ラインアップには、極めて多様な用途や産業向けの測定・分析機器を幅広くカバーし、それぞれの用途に応じて最適な測定方式を用いて精度の高い結果をもたらします。電磁式、渦電流式、ベータ線後方散乱式、電解式、微小硬さあるいは蛍光X線式などいずれの測定方式においても豊富な技術と経験を持ち、あらゆるソリューションを提供してきております
〒 340-0012 草加市神明1-9-16
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