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蛍光X線式測定器の自動化システム XDV-µ SEMI

(株)フィッシャー・インストルメンツ

最終更新日:2022/07/13

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  • 蛍光X線式測定器の自動化システム XDV-µ SEMI
ウェハーハンドラーを搭載した微小構造のウェハー測定用
【XDV-µ SEMI】は、微小構造のウェハー測定に特別設計された完全自動化の蛍光X線測定システム。FOUPやSEMI規格のウェハー格納用ポッドのロードポートが利用可能なため、ウェハーの出し入れや測定が完全自動で実行できる。お問い合わせはこちらへ。
    　　　　　　　　
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蛍光X線式測定器の自動化システム XDV-µ SEMI
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ファイル形式：pdf ファイルサイズ：1.49MB【XDV -µ SEMI】は、微小構造のウェハー測定に特別設計された完全自動化の蛍光X線測定システム。FOUPやSEMI規格のウェハー格納用ポッドのロードポートが利用可能なため、ウェハーの出し入れや測定が完全自動で実行できる。

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