ウェハーエキスパンダー(テープ拡張装置) TEX-21シリーズ
最終更新日:2017/02/08
このページを印刷ダイシング後のウェハーのストリートを任意に拡張可能
【TEX-21シリーズ】は、ダイシング/分割されたウェーハーをX-Y方向に均一に拡張し、チップ間隔を任意のギャップに広げるウェハーエキスパンダー(拡張装置)。フルカットされたウェハーをダイシングテープごと拡張ステージで引き伸ばし、チップ間隔/ストリート幅を適切な幅に均一に広げることが可能。拡張後は、グリップリング(インナーリングとアウターリングの挟み込み)によりテープの拡張状態を保持する。
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