ウェハーエキスパンダー（テープ拡張装置） TEX-21シリーズ
最終更新日:2017/02/08
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ダイシング後のウェハーのストリートを任意に拡張可能
【TEX-21シリーズ】は、ダイシング／分割されたウェーハーをX-Y方向に均一に拡張し、チップ間隔を任意のギャップに広げるウェハーエキスパンダー（拡張装置）。フルカットされたウェハーをダイシングテープごと拡張ステージで引き伸ばし、チップ間隔／ストリート幅を適切な幅に均一に広げることが可能。拡張後は、グリップリング（インナーリングとアウターリングの挟み込み）によりテープの拡張状態を保持する。
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