ラングミュアプローブ

本製品は、浮遊電位、プラズマ電位、プラズマ密度、イオン電流密度、電子温度、 電子エネルギー分布関数のパラメータを測定できるラングミュアプローブ。12.5nsのステップ時間分解能で測定可能(2015年3月現在、世界最速。同社調査による)。1つのシステムで、ダブルプローブ／シングルプローブを使用でき、プローブはさまざまなサイズにカスタムが可能。また、自動リニアドライブシステムにより0.025mmのステップ分解能でプローブをプラズマへ移動でき、空間分布が分析でが行える。デポジションガスに効果的な自動プローブ先端クリーニング機構付きで、プローブ先端の取替えも容易。時間平均測定、時間分解測定、タイムトレンド測定機能を搭載。