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オールインワン型プラズマ処理装置 AP-1000

(株)日放電子

最終更新日:2014/01/31

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  • オールインワン型プラズマ処理装置 AP-1000
大容量のチャンバを搭載
【AP-1000】は、筐体内にポンプ、チャンバ、制御電子系およびRF電源を収納したバッチ型のプラズマ処理装置装置。チャンバの内部寸法は、457W×457H×610D(mm)と大容量。フル・フロント・アクセスで操作性が良く、すべての内部コンポーネントに手が届くため、メンテナンスも容易である。最大4台のマスフローコントローラでガス制御が可能。プラズマモードも3種類に切替えできる。
    　　　　　　　　

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企業基本情報

社名：
(株)日放電子
住所：
〒 215-0034
川崎市麻生区南黒川８−１
Web：
http://www.nippoe.co.jp/