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中小型プラズマ処理装置 PX-250/500

(株)日放電子

最終更新日:2014/01/31

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  • 中小型プラズマ処理装置 PX-250/500
ガスは4系統のMFCまで増設可能
【PX-250/500】は、オールインワン型プラズマ処理装置「AP-1000型」の下位モデルでポンプ別置きタイプ。AP-1000同様、3つのプラズマモードを使い分けることがでできる。ガスはオプションで4系統のMFCまで増設可能。実験開発用途から中量生産規模まで幅広く利用できる。

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社名:
(株)日放電子
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〒 215-0034
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Web:
http://www.nippoe.co.jp/