サブフェムトインクジェット加工装置

本製品は、最少吐出量：0.1フェムトリットルを実現したサブフェムトインクジェット加工装置。現在市販されているインクジェットプリンタに使われているインクジェットヘッドの吐出できる液滴サイズに比べ、体積で1／1000以下の超微小液滴の吐出が可能。基板上に落下した後も、広がらずに直径1μm以下を実現。また、高粘度に対応可能なため、幅広い材料(金、銀、銅、ITOなどの導電インクや、レジスト、UV硬化樹脂、タンパク質)の吐出が行えるうえ、高粘度の液体を加熱することなく吐出可能。さらに、速乾性を活かして、立体構造体(ピラー)形成が可能。吐出量：0.1フェムト～10ピコリットル、ライン幅：0.6～数十μm、対応粘度：0.5～10,000mPa・s(非加熱)。