製品ナビは、工業製品からエレクトロニクス、IT製品まで、探している製品が見つかります
すべてのカテゴリー
  1. トップ
  2. 企業情報
  3. (株)エム・ディ・エキシマ
  4. 製品
  5. エキシマUV照射ユニット MEUTW

エキシマUV照射ユニット MEUTW

(株)エム・ディ・エキシマ

最終更新日:2015/06/03

このページを印刷
  • エキシマUV照射ユニット MEUTW
照度の均一性に優れるRF放電方式を採用
【MEUTW】は、半導体ウエハ、フォトマスク基板を対象としたエキシマUV照射ユニット。独自電源技術によりランプシステムに高効率な照射が可能。照度の均一性に優れるRF放電方式を採用し、ランプごとに制御が可能。ダメージレスで、精密な処理に最適。波長：172nm、照射有効エリア：φ150／200／300mm、均一性：±20％以内。
    　　　　　　　　

一緒に閲覧されている製品

エキシマUV照射ユニット MEUTWのお問い合わせ

お問い合わせはこちら

その他製品一覧

最新PDFもっとみる

KNKT株式会社(会社概要)KNKT株式会社
GDS(Ground fault Detection System)株式会社GMS JAPAN
RIDGID 工具カタログ 2026日本エマソン株式会社プロフェッショナルツール…
卓上型 自動コインセル組立機 MSK-110-ATAAポータブルパワー(株)
真空アニール炉用ランプヒーター(株)ヒートテック
PDF情報をもっと見る>>
ニュースリリース情報をもっと見る>>
最新展示会情報をもっと見る>>

企業基本情報

社名：
(株)エム・ディ・エキシマ
住所：
〒 224-0029
横浜市都筑区南山田3-6-33
Web：
http://www.mdexcimer.com