クリーンルームモニタリングシステム CRMS
最終更新日:2019/01/16
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常時監視に最適なセンサ方式
【CRMS】は、常時監視に最適な、センサ方式の清浄度監視モニタリングシステム。小型・軽量なレーザパーティクルセンサ(LPS)、分配器、インターフェースボックス、湿温度センサで構成。専用のソフトウェアはWindowsが提供するマルチタスク、マルチウィンドウおよびネットワークを最大限に利用し、計測データをさまざまな形式で画面・プリンタ・ファイル上に取り出せるように設計されている。
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