フレキシブル基板対応AOI RA7000シリーズ
最終更新日:2018/01/10
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連続搬送で検査可能
【RA7000シリーズ】は、ロール状フィルムを連続搬送させながらパターン検査ができるフレキシブル基板対応AOI。ライン／スペースが10μmのファインパターンから30μmの配線検査に対応しており高速な検査が可能。検査アルゴリズムは、線幅および線間にサブピクセル測長処理を行うことで、全てのパターン幅とスペースを測長している。搬送機械、照明装置、ソフトウェアをすべて自社で生産していることから、トータルでユーザーに最適な提案が可能。
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