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超クリーン熱処理装置

神港精機(株)

最終更新日:2014/02/01

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  • 超クリーン熱処理装置
マルチチャンバータイプ
本装置は、密閉チャンバー内に高度にクリーン化したN2ガスを常に供給する事により、O2濃度5ppm以下・クリーン度クラス10以下を実現したマルチチャンバータイプの装置。MCM基板製造やICパッケージング工程に不可欠なポリイミド絶縁膜形成において、低酸素・超クリーン雰囲気な熱処理を提供。
    　　　　　　　　

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企業基本情報

社名：
神港精機(株)
住所：
〒 103-0022
中央区日本橋室町4-2-16楠和日本橋ビル2F
Web：
http://www.shinko-seiki.com/