真空加熱装置

本製品は、真空・加熱・雰囲気ガスを変えて物質の創製の研究をサポートする研究開発装置。試料加熱用ヒータを内蔵、小型設計で設置場所を選ばない。標準タイプと高温タイプを用意しており、グラフェン、カーボンナノチューブなどの研究用や酸化物半導体のアニールによる結晶系の変化研究、IGZOアニール研究、CIGSの研究用などに最適。排気ポンプ、真空計、ヒータ温度制御装置などをオプションで用意したほか、高温用へのオプションも取り揃えている。