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卓上型高速加熱アニール装置 RTP-100

ユニテンプジャパン(株)

最終更新日:2018/09/04

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  • 卓上型高速加熱アニール装置 RTP-100
タッチパネルコントローラ制御
【RTP-100】は、装置筐体部の冷却機構を標準装備したΦ4インチ対応真空・プロセスガス高速アニール加熱システム。安全に配慮しながら最大到達温度:1200℃を実現しており、SiAu、SiAl、SiMoなどのアニーリングプロセスだけでなく、ペースト材料などの焼結プロセスにも対応する。また、高速赤外(IR)ヒーターを装備し、最大毎分7200℃以上(毎秒120℃以上)の高速昇温を行え、もちろん、プロファイルプログラムの指示値による任意の昇温速度で昇温させることも可能。降温プロセスでは、冷却用窒素ガスをチャンバー内に供給することで、処理後のデバイス表面にダメージを与えることなく、安全に冷却を行うことができる。

製品カタログ・資料

フロントローディング式真空プロセス高速加熱炉 RTP-100
フロントローディング式真空プロセス高速加熱炉 RTP-100

ファイル形式:pdf ファイルサイズ:0.21MB【RTP-100】は、装置筐体部の冷却機構を標準装備したΦ4インチ対応真空・プロセスガス高速アニール加熱システム。安全に配慮しながら最大到達温度:1200℃を実現しており、SiAu、SiAl、SiMoなどのアニーリングプロセスだけでなく、ペースト材料などの焼結プロセスにも対応する。また、高速赤外(IR)ヒーターを装備し、最大毎分7200℃以上(毎秒120℃以上)の高速昇温を行え、もちろん、プロファイルプログラムの指示値による任意の昇温速度で昇温させることも可能。降温プロセスでは、冷却用窒素ガスをチャンバー内に供給することで、処理後のデバイス表面にダメージを与えることなく、安全に冷却を行うことができる。

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企業基本情報

社名:
ユニテンプジャパン(株)
住所:
〒 194-0013
町田市原町田2-6-13 ベルストーク1 2階
Web:
https://www.unitemp.jp/
TEL:
0428607890

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