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大気圧クリーン加熱装置

(株)オーナルテック

最終更新日:2015/11/09

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  • 大気圧クリーン加熱装置
大気圧下でガラス基板などを加熱
【大気圧クリーン加熱装置】は、大気圧下でガラス基板やシリコンウェハなどの試料を加熱し、成膜や乾燥を行うプレート型ヒータ装置。大気圧でクリーンな加熱ができるほか、粉塵が少ない、金属汚染が少ない、均熱精度が高い、窒素ガスなどに雰囲気を変えられることなどが特長。加熱プレートの大きさは420×500mm。使用温度は最高350℃。
    　　　　　　　　

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企業基本情報

社名：
(株)オーナルテック
住所：
〒 567-0034
茨木市中穂積３丁目１４番４１号
Web：
http://www.ohnaru.com/