薄膜密着強度測定機 Romulus

【Romulus】は、 薄膜など各種の材料の表面に関する強度試験・評価のためのコンピュータ制御のテスター。装置は測定機本体、制御用PCとLCDモニターから構成され、電源(100VAC)を2口を用意して接続するだけで動作可能。様々な形態の密着強度測定、薄膜製造のマイクロエレクトロニクス工程検査、材料の性質検査、各種のコーティング膜の試験など、表面の密着強度を簡単に評価できる世界標準機器である。Moduleを交換する事により多様な測定が行え、密着力は約700kg／cm²まで、最大引張り荷重は100kgまで可能（オプションで200kgまで対応可能）。また専用ソフト使用で容易に測定条件の設定と測定結果を表示できる。測定対象はカラーフィルター／レジスト／Low-k膜／薄膜太陽電池／酸化膜／メッキ膜／DLC膜などの薄膜密着強度、複合基板の密着強度、コーティング引き倒し強度、固定されたダイなどのせん断強度など。