製品ナビは、工業製品からエレクトロニクス、IT製品まで、探している製品が見つかります

コントロールアングルバルブ Series 62.0

VAT(株)

最終更新日:2018/03/19

このページを印刷
  • コントロールアングルバルブ Series 62.0
SEMI、MOCVDなどの高温・高圧での圧力制御/真空封止用
【Series 62.0】は、高温環境下における半導体製造装置で安定した圧力制御を行うアングルバルブ。最高動作温度は200℃。熱交換器方式の導入により、真空露出されたベローズを均一に加熱し、デポ付着を防止する。また圧力コントローラ(別置き、ステッピングモータ作動式)は、システムパラメータ自動学習機能により、プロセス条件に適応した最適な圧力制御を行う。RS232、DeviceNet、Ethernetなどの各種リモートインターフェースにも対応。ボディ材質はアルミニウム、またはステンレススチールを使用。

製品カタログ・資料

コントロールアングルバルブ Series62.0
コントロールアングルバルブ Series62.0

ファイル形式:pdf ファイルサイズ:0.22MB本製品は、高温環境下における半導体製造装置で安定した圧力制御を行うアングルバルブ。最高動作温度は200℃。熱交換器方式の導入により、真空露出されたベローズを均一に加熱し、デポ付着を防止する。

コントロールアングルバルブ Series 62.0のお問い合わせ

お問い合わせはこちら
企業ロゴ

おすすめ情報

  • <高真空ゲートバルブ Series 09>

    0.1MPaの差圧でバルブの開閉動作が可能! 高真空ゲートバルブ

    【Series 09】は、0.1MPaの差圧でバルブの開閉動作が可能!真空封土アプリケーション用の高真空ゲートバルブになります。手動式かつ圧空作動式で、ボディにはステンレススチールを採用しています。真空中にグリースの使用箇所および可動部品がなく、くさび形のプレートと受け(特許取得のウェッジリング)により、圧力差があっても開閉できます。シンプルなウェッジデザインによりメンテナンスが容易しています。O-リングが付着物を掻き取るため、リーク量を低減します。

  • 真空ゲートバルブ Series 12

    2分割ボディでメンテナンスが容易、低コストにて提供

    【Series 12】は、独自の内部機構「VATLOCKシステム」により、機械的なロックで逆圧状況においても確実にシールします。、研究開発および産業用の低真空アプリケーション用バルブ。主にポンプに取り付けて使用します、エアダンピングにより振動が少なく、ポンプへの負担がありません。2分割ボディで取り外しが容易なため、メンテナンスがしやすい。手動式と圧空作動式をラインアップ。ボディ素材にはアルミニウムを採用しています。硬質アルマイト加工などの表面処理やユーザー指定のフランジ、標準以外のシール材の使用など、カスタマイズにも対応しています。