ガラス基板加熱・冷却装置
最終更新日:2016/02/18
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基板温度の昇降試験に最適
【ガラス基板加熱・冷却装置】は、ガラス基板の温度プロファイルを取ることにより、最適な加熱・冷却条件を見出し、プロセス設計の迅速化を実現する。基板温度の昇降試験に最適。寸法：W700×L600×H40mm、設定可能範囲：加熱時間および冷却時間：0〜999秒、温度設定範囲：ホットプレート50〜300℃／クールプレート5〜30℃。
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