イオンビームスパッタリング装置

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  ＜真空装置用冷凍機 Coolteq 100K／220K＞
  メンテナンス、設置作業などにも対応
  
  【Coolteq 100K／220K】は、Supcold社の真空装置用冷凍機。同様の装置に比べ消費電力を削減、またスタンバイ時間を短縮。フロン回収破壊法第一種特定製品。冷却温度：-100～-140℃、最大負荷：2,000W～3,500W、排気速度：100,000～220,000L／sec。

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  ＜ガスクラスターイオンビーム装置＞
  コンパクト構造で、シンプルで低価格な設計になっている
  
  本装置は、数十～数万個の気体原子や分子の集団をイオン化して適度なエネルギーに加速したビーム（GCIB）を非加工物に照射する事で表面の超平滑化や改質を低ダメージで行う事が出来る。原子分子レベルの加工のため、すでに形状加工された微細構造物の平滑化やエッチング加工、表面加工が可能。