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分子膜成膜装置 MVDシリーズ

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最終更新日:2017/11/29

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  • 分子膜成膜装置 MVDシリーズ
複雑な形状であっても全体にわたり均一に成膜
【MVDシリーズ】は、分子気体を材料として、種々の素地上に各種機能膜を形成する装置。一様な厚さの膜を、被成膜部が複雑な形状であっても全体にわたり均一に成膜することができる。視認できない隠れた部分(基板裏側など)にも成膜することが可能。使用実例としてMEMSセンサなどの構造表面上への疎水膜形成があり、加速度センサ製造時の不良率を40％から5％未満へ抑制した実績を持ち、製造歩留まりの向上に貢献。
    　　　　　　　　
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