回転補償子型分光エリプソメーター SE-2000
最終更新日:2020/07/03
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豊富な実績とデータベースでさまざまなニーズに対応
【SE-2000】は、半導体・太陽電池・液晶パネル・LED・有機ELなど薄膜の膜厚と光学特性(屈折率、消衰係数)を評価する装置。拡張性が高く、長年の経験による解析ノウハウと豊富なデータベースにより、研究開発からインライン生産品質管理など、さまざまな用途で使用できる。対応波長範囲：250～990nm、深紫外(193nm～)、近赤外(～1690nm)。全波長領域において、数秒で測定が行える。オプションでIR(～25μm)、ラマン分光、、シート抵抗測定、細孔率分布測定なども可能。マッピングステージも用意している。
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