非接触シート抵抗／移動度測定装置 LEI-2000M
最終更新日:2025/07/04
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高スループットを実現
【LEI-2000M】は、主に化合物材料デバイスやR＆D向けに開発され、移動度やシート抵抗などの材料にとって重要なパラメータを得るのに適した測定器。最小2インチ、最大8インチ径のウェーハに対応。非接触・非破壊で移動度・キャリア濃度・シート抵抗の面内分布を測定し、最大200mmのサンプルに対応。GaN.AlGaN、GaAs、InP、InGaAs、Graphene、SiCなど幅広い化合物半導体材料に対応。
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- 非接触シート抵抗／移動度測定装置 LEI-2000M
ファイル形式：pdf ファイルサイズ：2.98MB【LEI-2000M】は、主に化合物材料デバイスやR＆D向けに開発され、移動度やシート抵抗などの材料にとって重要なパラメータを得るのに適した測定器。最小2インチ、最大8インチ径のウェーハに対応。非接触・非破壊で移動度・キャリア濃度・シート抵抗の面内分布を測定し、最大200mmのサンプルに対応。GaN.AlGaN、GaAs、InP、InGaAs、Graphene、SiCなど幅広い化合物半導体材料に対応。
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