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非接触シート抵抗／移動度測定装置 LEI-2000M

日本セミラボ株式会社

最終更新日:2025/07/04

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  • 非接触シート抵抗／移動度測定装置 LEI-2000M
高スループットを実現
【LEI-2000M】は、主に化合物材料デバイスやR＆D向けに開発され、移動度やシート抵抗などの材料にとって重要なパラメータを得るのに適した測定器。最小2インチ、最大8インチ径のウェーハに対応。非接触・非破壊で移動度・キャリア濃度・シート抵抗の面内分布を測定し、最大200mmのサンプルに対応。GaN.AlGaN、GaAs、InP、InGaAs、Graphene、SiCなど幅広い化合物半導体材料に対応。
    　　　　　　　　
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非接触シート抵抗／移動度測定装置 LEI-2000M
非接触シート抵抗／移動度測定装置 LEI-2000M

ファイル形式：pdf ファイルサイズ：2.98MB【LEI-2000M】は、主に化合物材料デバイスやR＆D向けに開発され、移動度やシート抵抗などの材料にとって重要なパラメータを得るのに適した測定器。最小2インチ、最大8インチ径のウェーハに対応。非接触・非破壊で移動度・キャリア濃度・シート抵抗の面内分布を測定し、最大200mmのサンプルに対応。GaN.AlGaN、GaAs、InP、InGaAs、Graphene、SiCなど幅広い化合物半導体材料に対応。

会社情報

日本セミラボ株式会社

半導体測定装置、太陽電池評価装置の販売及び技術サービスを提供しています。

日本セミラボ株式会社
〒 222-0033  横浜市港北区新横浜2-15-10 YS新横浜ビル6F
電話 : 045-620-7960

https://www.semilab-j.jp/
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企業基本情報

社名：
日本セミラボ株式会社
住所：
〒 222-0033
横浜市港北区新横浜2-15-10 YS新横浜ビル6F
Web：
https://www.semilab-j.jp/
TEL：
045-620-7960

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