製品ナビは、工業製品からエレクトロニクス、IT製品まで、探している製品が見つかります
すべてのカテゴリー
  1. トップ
  2. 企業情報
  3. 日本セミラボ株式会社
  4. 製品
  5. 非接触シート抵抗／移動度測定装置 LEI-2000M

非接触シート抵抗／移動度測定装置 LEI-2000M

日本セミラボ株式会社

最終更新日:2025/07/04

このページを印刷
  • 非接触シート抵抗／移動度測定装置 LEI-2000M
高スループットを実現
【LEI-2000M】は、主に化合物材料デバイスやR＆D向けに開発され、移動度やシート抵抗などの材料にとって重要なパラメータを得るのに適した測定器。最小2インチ、最大8インチ径のウェーハに対応。非接触・非破壊で移動度・キャリア濃度・シート抵抗の面内分布を測定し、最大200mmのサンプルに対応。GaN.AlGaN、GaAs、InP、InGaAs、Graphene、SiCなど幅広い化合物半導体材料に対応。
    　　　　　　　　
  • 製品カタログ
  • お問い合わせ
  • この企業の情報を見る

製品カタログ・資料

非接触シート抵抗／移動度測定装置 LEI-2000M
非接触シート抵抗／移動度測定装置 LEI-2000M

ファイル形式：pdf ファイルサイズ：2.98MB【LEI-2000M】は、主に化合物材料デバイスやR＆D向けに開発され、移動度やシート抵抗などの材料にとって重要なパラメータを得るのに適した測定器。最小2インチ、最大8インチ径のウェーハに対応。非接触・非破壊で移動度・キャリア濃度・シート抵抗の面内分布を測定し、最大200mmのサンプルに対応。GaN.AlGaN、GaAs、InP、InGaAs、Graphene、SiCなど幅広い化合物半導体材料に対応。

会社情報

日本セミラボ株式会社

当社の検査装置は非接触・非破壊を基本とし、半導体ウェーハからデバイス検査装置まで幅広く対応しています。
研究開発を加速させる先進的ソリューションから、製造プロセスを支える信頼性の高い検査装置まで、ご提供する事が可能です。

日本セミラボ株式会社
〒 222-0033  横浜市港北区新横浜2-15-10 YS新横浜ビル6F
電話 : 045-620-7960

https://www.semilab-j.jp/
詳細はこちら

製品ご紹介

非接触シート抵抗／移動度測定装置 LEI-2000Mのお問い合わせ

お問い合わせはこちら
企業ロゴ
PDF情報をもっと見る>>
ニュースリリース情報をもっと見る>>
最新展示会情報をもっと見る>>

企業基本情報

社名：
日本セミラボ株式会社
住所：
〒 222-0033
横浜市港北区新横浜2-15-10 YS新横浜ビル6F
Web：
https://www.semilab-j.jp/
TEL：
045-620-7960

おすすめ情報

  • ≪分光エリプソメーター SE-1000≫

    【SE-1000】は、モジュール性と高い測定性能を卓上型のコンパクト設計で実現する分光エリプソメーター。回転補償子法により高い測定性能を提供。コスト効率に優れ、研究開発ラボに適した手動のゴニオメーターと手動のサンプル位置決め機能を搭載。非接触・非破壊の光学的測定を基板や単層/多層サンプルで行い、個々の薄膜の膜厚や光学特性(屈折率、消衰係数)を取得。コンポーネントを交換可能なセミラボの新型高性能電子機器が搭載し、新世代の動作・分析ソフトウェア(SAM/SEA)で動作する。

  • ≪回転補償子型分光エリプソメーター SE-2000≫

    【SE-2000】は、半導体・太陽電池・液晶パネル・LED・有機ELなど薄膜の膜厚と光学特性(屈折率、消衰係数)を評価する装置。拡張性が高く、長年の経験による解析ノウハウと豊富なデータベースにより、研究開発からインライン生産品質管理など、さまざまな用途で使用できる。対応波長範囲:250～990nm、深紫外(193nm～)、近赤外(～1690nm)。全波長領域において、数秒で測定が行える。オプションでIR(～25μm)、ラマン分光、、シート抵抗測定、細孔率分布測定なども可能。マッピングステージも用意している。