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Semilab製 原子間力顕微鏡 AFM-2100／2200／3000

日本セミラボ株式会社

最終更新日:2025/11/27

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  • Semilab製 原子間力顕微鏡 AFM-2100／2200／3000
最大300mm半導体ウェーハの品質管理において、再現性の高いラフネス特性評価を実現
本製品は、最先端の欠陥識別手法のコンビネーションファクトリーオートメーション向けに開発れた原子間力顕微鏡AFM。極めて低いノイズレベルで、高解像度かつ原子レベル以下の精密測定を実現。これにより、Siおよび各種化合物ウェーハの品質管理において、一貫性と再現性の高い表面荒さ評価が可能となりる。自動化されたSemilab AFMポートフォリオは、原子間力顕微鏡の高解像度3D表面プロファイリング技術に基づき、マイクロおよびナノトポロジー測定における業界標準を満たしている。最先端技術と長年にわたるノウハウを融合、幅広くカスタマイズ可能でユーザーフレンドリーな環境において、安定した高精度なパフォーマンスを発揮し、サンプル表面の詳細な3D情報と正確な欠陥位置特定を実現する。
    　　　　　　　　
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仕様

型番AFM-2100/ AFM-2200/ AFM-3000

製品カタログ・資料

Semilab 製原子間力顕微鏡　AFM-2100/2200/3000
Semilab 製原子間力顕微鏡　AFM-2100/2200/3000

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会社情報

日本セミラボ株式会社

当社の検査装置は非接触・非破壊を基本とし、半導体ウェーハからデバイス検査装置まで幅広く対応しています。
研究開発を加速させる先進的ソリューションから、製造プロセスを支える信頼性の高い検査装置まで、ご提供する事が可能です。

日本セミラボ株式会社
〒 222-0033  横浜市港北区新横浜2-15-10 YS新横浜ビル6F
電話 : 045-620-7960

https://www.semilab-j.jp/
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企業基本情報

社名：
日本セミラボ株式会社
住所：
〒 222-0033
横浜市港北区新横浜2-15-10 YS新横浜ビル6F
Web：
https://www.semilab-j.jp/
TEL：
045-620-7960

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