膜厚測定システム F20シリーズ

【F20シリーズ】は、薄膜の表面および基板との界面からの反射光を分光解析することにより、透明もしくは半透明の薄膜の膜厚、屈折率および消衰係数を1秒程度で簡単に測定することができるシステム。研究開発から量産ラインでの品質管理にいたる幅広い用途に対応。優れたユーザーインターフェースにより、直感的な操作が可能。また、独自のFFT解析手法により多層膜の膜厚解析、高い繰り返し測定精度を実現。コンパクトな筐体は卓上での使用はもちろんのこと、装置への組込みにも最適。100種以上の豊富なマテリアルライブラリーが用意されており、測定する膜を選択でき、さらに新しいマテリアルの登録も可能。