厚膜用 非接触分光膜厚測定システム F3-sXシリーズ

【F3-sXシリーズ】は、厚膜を高精度で測定する非接触式膜厚測定システム。厚い膜の測定においても0.4%の精度で測定が可能。シリコン基板・ガラス・フィルム厚の測定や電子デバイスの故障解析などにご使用頂けます。膜厚側手装置本体には光源と分光器が内蔵されている。光源の光はファイバーを通してサンプルに照射され、反射した光は再びファイバーを通り本体の分光器に戻る。反射光は分光器で波長毎に分光され、膜厚解析ソフトウェア”FILMeasure”を搭載したパソコンに取り込まれる。光の波長と膜厚に依存した反射率スペクトラムを膜厚解析ソフトウェア”FILMeasure”で解析し、膜厚を測定する。