自動マッピング膜厚測定システム F50シリーズ
最終更新日:2015/05/12
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パワフルかつ柔軟な測定が可能
【F50シリーズ】は、光干渉の原理に基づいた膜厚測定機能と自動高速ステージを組み合わせたシステム。マウスだけで基本操作が行え、任意に指定したポイントの膜厚、屈折率を素早く測定する。基本的なPCの知識があれば容易に操作でき、独自のFFT解析法により多層膜の測定も可能。コンパクトな筐体は場所を選ばず設置できる。膜厚や膜の特性に応じた豊富なラインアップに加え、サンプルサイズに応じたチャックも用意されており、目的に合わせ選択可能。
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