小型高速分光エリプソメータ UNECS-2000
最終更新日:2014/02/01
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操作が容易
【UNECS-2000】は、高次移相子を備える分光偏光方式を採用したエリプソメータ。高速化、小型化を優れたコストパフォーマンスで実現。φ200mmまでのサンプルに対応した電動式ステージを備えており、簡単な操作で高精度な測定が行えるため、研究開発から生産ラインまで幅広い用途で使用できる。
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