テラヘルツ・エリプソメータ Tera Evaluator

【Tera Evaluator】は、4インチおよび6インチウェハの電気特性の計測を非破壊・非接触で行えるテラヘルツ・エリプソメータ。レーザーの外部入力が可能なシステム構成で、テラヘルツ領域の複素誘電率を計測できる。原理的にはすべての半導体材料への適応が可能であり、液体試料の測定にも対応する。サイズ：W732×D585×H500、重量：約85kgで、AC100V／10A(50／60Hz)で動作。パラメータn型(ドープ量：4×10¹⁸cm⁻³)の場合、キャリア密度：4.48×10¹⁸N(cm⁻³)、緩和時間：8.47×10⁻¹⁴s、移動度：1885μ(ｃm²／V⁻¹s⁻¹)、抵抗率：0.74×10⁻³p(Ω・cm)。オプションでPC、乾燥空気発生装置または窒素ガス発生装置を用意。