顕微鏡式膜厚測定システム F40シリーズ
最終更新日:2015/09/02
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紫外光領域から近赤外光領域に対応
【F40シリーズ】は、最小1μのスポットサイズ(100倍の対物レンズ使用時)に対応し、微細化サンプルの測定に最適なシステムで、サンプルの反射光を分光解析することにより、膜厚および光学定数を測定する。光干渉の原理に基づいた独自の解析アルゴリズムで膜厚・屈折率の測定を行い、PCモニタ上の顕微鏡観察画面で測定箇所を確認しながらの容易な測定が可能。膜厚測定に特化した独自開発の顕微鏡ユニットを採用しており、安価ながら必要な機能を十分に備え、半導体をはじめ液晶ディスプレイから医療分野まで、幅広い用途に対応する。
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