ソーラセル搬送機
最終更新日:2014/02/01
このページを印刷高スループットを実現
本製品は、検査装置に接続することでウエハを供給することができるソーラセル搬送機。独自機構の開発により高スループットを実現、また、ウエハを1秒／枚で高速搬送することが可能。スタック(ウエハが重なった状態)ウエハの搬送も行える。
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