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ウエハ検査システム

レイリサーチ株式会社

最終更新日:2014/02/01

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  • ウエハ検査システム
出荷検査／受入検査用に最適
本装置は、太陽電池用ウエハの「IR検査」、「表面／裏面検査」、「厚み検査(簡易Bow／Warp)」、「抵抗値測定」と4工程の検査を行う装置。ウエハを1秒／枚と高速で検査でき、ローダは、カセット方式またはスタック方式に対応する。また、アンローダは、検査結果により13種類のカテゴリーに振分けられるほか、オプションでライフタイム測定にも対応可能。
    　　　　　　　　

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