フラットネステスター FTシリーズ
最終更新日:2015/11/17
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外径φ200mm以下のサンプル測定が可能
【FTシリーズ】は、レーザー光による全面一括解析により、短時間で測定データを取得できる高精度デジタルフラットネステスター。レーザー光斜入射干渉計による干渉縞を位相シフト法で画像解析し、さまざまなサンプルのデジタル計測を行う。測定対象物は、ウエハ(シリコン、化合物、酸化物、ガラス)、金属片、マスク、任意形状など。サンプルの型は、粗面から鏡面、透明体や穴あき、異型まで幅広く対応可能。
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