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高精度塗布装置(ヘッドコーター) HCシリーズ

平田機工株式会社

最終更新日:2018/04/19

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  • 高精度塗布装置(ヘッドコーター) HCシリーズ
省液、省エネのレジスト塗布装置
【HCシリーズ】は、クローズド方式の塗布のため液劣化が少なく、またレジスト液・洗浄液などを省資源で塗布できる装置。大型基板、細長基板に対応し、額縁状の塗布が行えるため塗布後のエッジ、裏面洗浄が不要。さらに基板割れの可能性が少なく高い安全性を保持。また消費電力が小さく、高粘度液の塗布が行える。
    　　　　　　　　

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企業基本情報

社名：
平田機工株式会社
住所：
〒 861-0198
熊本市植木町一木111　熊本本部　熊本工場　熊本本部ビル6階
Web：
http://www.hirata.co.jp/