高速3D表面粗さ測定器 Zeta-20
最終更新日:2014/02/01
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高い柔軟性、豊富なオプションを用意
【Zeta-20】は、特許のZ-Dot技術により表面の粗さや形状を鮮明に映像化する測定器。10秒毎以下のスキャン(オプション)、容易なグラフィカルインターフェースにより、迅速なデータ収集を行い、高低差／粗さ／面積／ボリューム／角度など広範囲にわたる3D分析が可能。また、他の分析ソフトウェアへのエクスポートにも対応している。柔軟性が高く、反射防止コーティングをした太陽電池をはじめ、LEDのパターン／エッチング基板、バイオMEMS・MEMS・マイクロチャネル、透明な多層表面イメージングなどに適し、深い溝やダイヤモンドワイヤソーなどの測定が困難なものや、凹凸の大きな荒い表面、急斜面などの表面測定も可能。100×100mm手動稼働X・Yステージ搭載。
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