太陽光発電ソーラーパネル製造装置
最終更新日:2014/02/01
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熱に弱い樹脂基板に低温成膜を形成
【太陽光発電ソーラーパネル製造装置】は、従来の高周波によるCVD方式ではなく、直流電源を使用した反応性スパッタにより、2枚のターゲット間にスパッタプラズマを保持し、成膜を行う装置。高エネルギープラズマによる基板への衝撃を大幅に抑制し、欠陥やダメージのない低温での薄膜を形成する。また、次世代ディスプレイ有機EL、モバイルのフレキシブル配線などへの反射防止膜にも応用可能。
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