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近赤外対応小型マイクロスコープ CM-10NIR／20NIR

(株)ニコンエンジニアリング

最終更新日:2014/02/01

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  • 近赤外対応小型マイクロスコープ CM-10NIR／20NIR
ウエハの内部検査や装置組込みに最適
【CM-10NIR／20NIR】は、高感度IRカメラ(ADT-33C)と組合わせて、近赤外波長(1100nm)まで撮像できる小型マイクロスコープ。シリコンデバイスの非破壊内部検査、液晶ドライバICの内部検査、フリップチップ実装の非破壊不良検査、CSPバンプ非破壊観察、シリコン内部とアライメントマークの位置ずれ検査などに最適。カメラの撮像素子は1／2型EM-CCD。
    　　　　　　　　

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