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光学式測定顕微鏡 スリット平行交錯型深さ高さ測定機

日商精密光学(株)

最終更新日:2015/06/04

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  • 光学式測定顕微鏡 スリット平行交錯型深さ高さ測定機
深いホール状内の微小な3次元測定も可能
【スリット平行交錯型深さ高さ測定機】は、スリット光により検出した深さ高さの断面像を、正像と反転像の左右移動交錯による一致合わせを利用して深さ高さ、X・Y軸方向を測定する光学式測定顕微鏡。深いホール状内の微小な3次元測定も可能。対物レンズが垂直にセットされているので物体像は通常の顕微鏡同様フラット。
    　　　　　　　　

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