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- MEMS/NEMS工学全集
ファイル形式:pdf ファイルサイズ:1.78MB本書は、実用化されている技術はもとより、利用が期待される家電、電気通信、医療・福祉、環境、生産現場、農業、漁業、スポーツ、ゲームなどあらゆる分野に言及し、次世代産業の基盤となるMEMS/NEMS技術を基礎からデバイス化・応用までわかりやすく解説した技術書。東北大学 大学院工学研究科 ナノメカニクス専攻 教授 工学博士の桑野 博喜氏を監修に迎え、114名の執筆陣が力学や物理学などの基礎からプロセス基盤技術、応用基盤技術に加え、今後の展望までを紹介。主な仕様は以下。 ・監修:桑野 博喜 ・発刊:2009年4月22日発刊 ・体裁:B5判 二段組上製本 約1100頁 ■主な目次 第1章 序論 第2章 MEMS/NEMS 基礎 第3章 MEMS/NEMS プロセス基盤技術 第4章 MEMS/NEMS 応用基盤技術 第5章 MEMS/NEMS デバイス例 第6章 解析・評価技術 第7章 システムへの適用例 第8章 今後の展望
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・監修:桑野 博喜
・発刊:2009年4月22日発刊
・体裁:B5判 二段組上製本 約1100頁
■主な目次
第1章 序論
第2章 MEMS/NEMS 基礎
第3章 MEMS/NEMS プロセス基盤技術
第4章 MEMS/NEMS 応用基盤技術
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第7章 システムへの適用例
第8章 今後の展望