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【販売書籍】薄膜の評価技術ハンドブック

(株)テクノシステム

最終更新日:2014/05/23

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高品質・高性能な薄膜作製に不可欠な薄膜の測定・評価技術を網羅

本書は、物質、形状、性質の異なるさまざまな薄膜をより適切に評価するためにはどのようなポイントに留意し、どのような方法を用いたらよいのかといった疑問に答える専門書。さまざまな薄膜とともに用いられてきた多種多様な評価法を基礎から最先端の評価技術まで含め1冊に凝縮。第?部では薄膜の形状、膜厚、構造、組成・結合状態といった基本事項の評価技術、第?部では電気、磁気、光学、化学など手法別にまとめた薄膜の物性評価や熱物性評価、第?部ではLSI、半導体パワーデバイス(欠陥評価とデバイス特性)、LED照明、薄膜太陽電池、薄型ディスプレイ、薄膜磁気メモリ、有機薄膜デバイス、バイオセンサなど薄膜の応用現場における評価事例を詳しく解説。また、有機薄膜についても各部で別に項を設けて詳述。

・監修：金原粲
・発刊：2013年1月19日
・体裁：B5判二段組上製本約620頁

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: 薄膜の評価技術ハンドブック
ファイル形式：pdf ファイルサイズ：0.95MB本書は、物質、形状、性質の異なるさまざまな薄膜をより適切に評価するためにはどのようなポイントに留意し、どのような方法を用いたらよいのかといった疑問に答える専門書。さまざまな薄膜とともに用いられてきた多種多様な評価法を基礎から最先端の評価技術まで含め1冊に凝縮。第?部では薄膜の形状、膜厚、構造、組成・結合状態といった基本事項の評価技術、第?部では電気、磁気、光学、化学など手法別にまとめた薄膜の物性評価や熱物性評価、第?部ではLSI、半導体パワーデバイス(欠陥評価とデバイス特性)、LED照明、薄膜太陽電池、薄型ディスプレイ、薄膜磁気メモリ、有機薄膜デバイス、バイオセンサなど薄膜の応用現場における評価事例を詳しく解説。また、有機薄膜についても各部で別に項を設けて詳述。・監修：金原粲・発刊：2013年1月19日・体裁：B5判二段組上製本約620頁

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