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バタフライコントロールシステム Series 61.2

VAT(株)

最終更新日:2018/03/19

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  • バタフライコントロールシステム Series 61.2
優れた圧力制御能力、コンタミの多いプロセスへの優れた適応性
【バタフライコントロールシステム Series 61.2】は、SEMI、FPD、PV、SOLAR、産業分野の圧力制御用バルブ。極めて短い制御応答時間で高速動作が可能。コンパクトデザイン、コントローラは搭載型。CVDなどの高速で高度なプロセスに最適。

製品カタログ・資料

バタフライコントロールシステム Series 61.2
バタフライコントロールシステム Series 61.2

ファイル形式:pdf ファイルサイズ:0.76MBSEMI、FPD、PV、SOLAR、産業分野の圧力制御用バルブ。特に高速で高度なプロセスに最適 例: CVD

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