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製品カタログ・資料
- 大型角型ゲートバルブ SOLVAT Series 06.6
ファイル形式:pdf ファイルサイズ:0.98MBPVセルおよび大型成膜装置用。お客様指定のデザインに柔軟に対応(例: 水冷、加熱プロセスからの保護)。
ファイル形式:pdf ファイルサイズ:0.98MBPVセルおよび大型成膜装置用。お客様指定のデザインに柔軟に対応(例: 水冷、加熱プロセスからの保護)。
真空ゲートバルブ Series 12
2分割ボディでメンテナンスが容易、低コストにて提供
【Series 12】は、独自の内部機構「VATLOCKシステム」により、機械的なロックで逆圧状況においても確実にシールします。、研究開発および産業用の低真空アプリケーション用バルブ。主にポンプに取り付けて使用します、エアダンピングにより振動が少なく、ポンプへの負担がありません。2分割ボディで取り外しが容易なため、メンテナンスがしやすい。手動式と圧空作動式をラインアップ。ボディ素材にはアルミニウムを採用しています。硬質アルマイト加工などの表面処理やユーザー指定のフランジ、標準以外のシール材の使用など、カスタマイズにも対応しています。