フィルメトリクス膜厚測定システム F30
最終更新日:2014/02/01
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デポジションモニタリングシステムとして最適
【F30】は、リアルタイムのデポジション率、膜厚、光学定数(屈折率と消衰係数)、半導体と誘電体層の均一性を測定する分光反射率システム。MBEとMOCVD：スムーズな半透明膜、もしくは少し吸収のある膜を測定することができる。これには、AlGaN、GaInAsPなどのほとんどの半導体材料が含まれている。
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