ステッピングピエゾステージ MN-8000XD／6500Z
最終更新日:2019/09/24
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最大ストローク8mm(X)、6.5mm(Z)
【MN-8000／6500シリーズ】は、サブμmのステップ変位繰り返し(粗動モード)で最大ストローク8mm(X)、6.5mm(Z)を実現したステッピングピエゾステージ。滑らか変位(微動モード)では最大20μm。
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