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透過窓付ピエゾステージ MAP-BA4Z

(株)メステック

最終更新日:2019/09/25

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  • 透過窓付ピエゾステージ MAP-BA4Z
可動部中央に大型の透過窓を装備
【MAP-BA4Z】は、高剛性なため大質量のワークを高速位置決めできる。可動部中央に大型の透過窓があり光軸を導入でき、また、一体弾性ヒンジ機構により摩擦のない高精度な動作を実現。変位拡大機構を内蔵。長期間にわたりメンテナンス不要。変位センサ内蔵タイプは、変位クローズド制御により高精度な位置決めが可能。
    　　　　　　　　

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