薄型ピエゾステージ ML-90XYL
最終更新日:2019/09/24
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可動部に20mmの透過窓口付き
【ML-90シリーズ】は、8mmの薄型サイズ透過窓付きピエゾステージ。変位センサ内蔵タイプはコントローラと組み合わせることで高精度な位置決めが可能。
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